荷蘭光刻機(jī)為什么厲害

1、強(qiáng)大的研發(fā)投入：光刻機(jī)是一個(gè)高精尖的技術(shù)，其技術(shù)難度是全球公認(rèn)的，如果沒(méi)有持續(xù)強(qiáng)大的研發(fā)投入根本不可能到技術(shù)領(lǐng)先。ASML從成立至今，對(duì)于研發(fā)的投入都非常大，比如2019年ASML的銷(xiāo)售額大概是21億歐元，而研發(fā)費(fèi)用支出就達(dá)到了4.8億歐元，研發(fā)費(fèi)用占營(yíng)收的比例達(dá)到22.8%，這個(gè)比例是非常高的，正因?yàn)橛写罅抠Y金的投入，所以ASML在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域一直處于領(lǐng)先地位。

2、美國(guó)以及歐盟的支持：雖然ASML是一家荷蘭公司，但他背后卻有著歐盟以及美國(guó)的力量，多關(guān)鍵技術(shù)都由美國(guó)以及歐盟國(guó)家提供。比如德國(guó)先進(jìn)的機(jī)械工藝以及世界級(jí)的蔡司鏡頭，再加上美國(guó)提供的光源，這就使得ASML公司在光科技術(shù)方面飛速發(fā)展，幾乎到達(dá)了無(wú)人能敵的境地。

3、準(zhǔn)確抓住了技術(shù)轉(zhuǎn)折點(diǎn)：目前世界最頂尖的光刻機(jī)有三個(gè)廠家，分別是ASML，尼康和佳能。2007年之前這三大廠家其實(shí)并沒(méi)有太大的差距，競(jìng)爭(zhēng)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)是出現(xiàn)在2007年。2007年ASML配合臺(tái)積電的技術(shù)方向，推出了193納米的光源浸沒(méi)式系統(tǒng)，在光學(xué)鏡頭和硅晶圓片導(dǎo)入液體作為介質(zhì)，在原有光源與鏡頭的條件下，能顯著提升蝕刻精度，并成為高端科技的主流技術(shù)方案。而當(dāng)時(shí)日本的尼康與佳能卻主推157納米光源的干式光刻，這個(gè)路線后來(lái)被市場(chǎng)所放棄，也成為尼康跟佳能邁入衰退的一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)，后來(lái)才有了ASML的壟斷。

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