ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質(zhì)譜儀,主要用途是進(jìn)行化學(xué)元素分析檢測,特別是對金屬元素分析最擅長,也能分析B、P、As等非金屬元素。他和ICP-OES、AAS是化學(xué)元素分析的常用的三種儀器,ICPMS的檢測限最低,可以達(dá)到PPT(10的負(fù)12次方)級。
ICP-MS所用 電離源是感應(yīng)耦合 等離子體(ICP),它與 原子發(fā)射光譜儀所用的ICP 是一樣的,其主體是一個由三層石英套管組成的炬管,炬管上端繞有負(fù)載線圈,三層管從里到外分別通載氣,輔助氣和冷卻氣,負(fù)載線圈由高頻電源耦合供電,產(chǎn)生垂直于線圈平面的磁場。如果通過高頻裝置使氬氣電離,則氬離子和電子在 電磁場作用下又會與其它氬原子碰撞產(chǎn)生更多的離子和電子,形成 渦流。強(qiáng)大的電流產(chǎn)生高溫,瞬間使 氬氣形成溫度可達(dá)10000k的等離子焰炬。樣品由 載氣帶入等離子體焰炬會發(fā)生蒸發(fā)、分解、激發(fā)和 電離,輔助氣用來維持等離子體,需要量大約為1 L每min。冷卻氣以切線方向引入外管,產(chǎn)生螺旋形氣流,使負(fù)載線圈處外管的內(nèi)壁得到冷卻,冷卻氣流量為10-15 L每min。
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