如何改善單極式極距型電容傳感器的非線性

改善單極式極距型電容傳感器的非線性的方法是將結(jié)構(gòu)設計成差動形式，也就是在兩個固定極板之間插入動極板，動極板與兩邊固定極板構(gòu)成兩個互為差動的電容。其中一個電容增加多少，另一個電容就減少多少。

　　電容傳感器是指將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。實際上，它本身（或和被測物體）就是一個可變電容器。電容傳感器可以直接測量的非電量為：直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸（或稱物位），直線位移及角位移可以是靜態(tài)的，也可以是動態(tài)的，例如是直線振動及角振動。用于上述三類非電參數(shù)變換測量的變換器一般說來原理比較簡單，無需再作任何預變換。

　　用來測量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器，往往采用單極式變間隙電容傳感器，使用時常將被測物作為傳感器的一個極板，而另一個電極板在傳感器內(nèi)。近年來已采用這種方法測量油膜等物質(zhì)的厚度。這類傳感器的動態(tài)范圍均比較小，約為十分之幾毫米左右，而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達到0.1μm，分辨力為0.025μm?？梢詫崿F(xiàn)非接觸測量，它加給被測對象的力極小，可忽略不計。

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